VM1103 壓力傳感器

聚芯科技依托中國科學(xué)院的技術(shù)實(shí)力，開(kāi)發(fā)了新一代的柔性壓力傳感器，該技術(shù)有別于現有電阻式、電容式和壓電式傳感，是全新一類(lèi)（第四類(lèi)）傳感機理-界面離電子觸覺(jué)傳感技術(shù)，即離電子傳感器（Iontronic Sensors）VM1102IS，這項技術(shù)采用了全新的壓力感應原理，并非通過(guò)膜的形變來(lái)獲取外界激勵，而是通過(guò)可形變的離子材料層和柔性導電材料表面的接觸面積改變來(lái)感知外部壓力。

離電子壓力傳感器，由于離子材料中存在大量的導電離子，當電解質(zhì)與電極接觸時(shí)，其界面會(huì )自動(dòng)形成上擁有超級電容屬性的雙電層界面電容（EDL）。這種雙電層電容是一種由離子和電子相對排布形成的艾米級(Å)結構，其單位面積電容率是傳統平行平板電容的10000 倍以上。離電子觸覺(jué)傳感技術(shù)，其靈敏度高達1.58μF/kPa，并適合于各種幾何形貌表面的壓力/壓強測量，同時(shí)，可以高度模擬人類(lèi)皮膚觸覺(jué)的各項特性及指標。

由于該傳感方式利用雙電層上的超高單位面積電容率，不僅實(shí)現了超高靈敏度，并對人體及環(huán)境電容噪聲有很強的抗干擾能力。從該項技術(shù)極為簡(jiǎn)潔的結構設計中受益，整個(gè)傳感器件可通過(guò)對具有優(yōu)良機械性能和光學(xué)透明度的高分子材料以低成本快速加工的方式制造而成。在此基礎上，通過(guò)對柔性離電子材料和界面加工工藝的進(jìn)一步改進(jìn)，設計并制造出世界上首個(gè)超級電容離電子薄膜壓力傳感設備，其靈敏度優(yōu)于現有固態(tài)壓力傳感器一千倍以上，是迄今為止世界上靈敏度最高和抗噪性能最強的壓力傳感器。

同時(shí)，這樣一個(gè)僅有100 微米厚的柔性壓力傳感器，其光學(xué)透明度大于90％，器件的響應時(shí)間控制在亞毫秒級，比同類(lèi)傳統的柔性固態(tài)傳感器快了一個(gè)數量級以上。

微聚芯的測力傳感器在很多方面都是獨一無(wú)二的，其測量原理及測量技術(shù)領(lǐng)先于現有所有壓力測量技術(shù)；

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